dressler电源维修LFGS-1250C射频电源维修
发布时间：2026-01-13 00:00
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区域：北京 - 朝阳
类别：机械设备维修
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信息编号：NO.00074016
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LFGS射频发生器是用于半导体生产和一般等离子处理的多功能射频发生器。此类可变频率发生器采用了一种半桥、D类型放大器理念，是一种空冷式紧凑型的设计，可安装在19英寸机架上面。应用包括溅射、等离子蚀刻、化学气象沉积、聚合以及表面处理设备上。
维修范围：刻蚀、RIE
维修范围：刻蚀、RIE
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